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JGS1 |
更高面形精度：RMS优于4.1nm@632.8nm，比凹透镜更严苛，可作系统像差补偿核心件。
φ110mm兼顾深紫外透过率。
低杂光控制：60/40光洁度，有效抑制凸透带来的散射噪声。
用于半导体检测设备紫外成像模块、高倍率紫外复消色差物镜、光刻投影物镜中像差动态补偿组。
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更高面形精度：RMS优于4.1nm@632.8nm，比凹透镜更严苛，可作系统像差补偿核心件。
φ110mm兼顾深紫外透过率。
低杂光控制：60/40光洁度，有效抑制凸透带来的散射噪声。
用于半导体检测设备紫外成像模块、高倍率紫外复消色差物镜、光刻投影物镜中像差动态补偿组。
