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面型指标:PV优于1/20λ@632.8nm,适合干涉仪参考镜或高精度转折光路。
材料:7980KRF OA材料,热膨胀系数低,针对KrF准分子激光优化。
可定制镀膜:支持高反/分光/增透膜层,满足全波段应用。


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面型指标:PV优于1/20λ@632.8nm,适合干涉仪参考镜或高精度转折光路。
材料:7980KRF OA材料,热膨胀系数低,针对KrF准分子激光优化。
可定制镀膜:支持高反/分光/增透膜层,满足全波段应用。

